回转工作台的驱动方式
在半导体专用设备制造过程中，工作台往往需要实现一定度数范围内的旋转、定位从而满足加工工艺的要求。因此，实现工作台可靠、平稳旋转，精准落位，是半导体专用设备制造关键技术。在现代化的生产设备中，传统的工作台驱动方式是通过电机减速器直接作用于轴系，带动工作台旋转，这种装置在实际应用中存在一定的不足，运转不平稳，震动大，噪音大，由于转动惯量不匹配，导致工作台落位时难以停稳，定位精度不能满足工艺需求，从而大大降低了设备可靠性。
在近几年的机械工业创新发展机床行业。在原有的回转工作台基础上，把普通丝杆较换成滚珠丝杠，在铸铁的导轨面上镶嵌直线导轨。把变速箱电机较换成伺服电机。
1、气压驱动：气压驱动具有，系统结构简单，维修方便等特点，适用于中小负载的系统中。难于实现伺服控制，多用于程序控制的滑台机械手，在上下料和冲压设备中应用较多。
2、电动驱动：随着低惯量、直流伺服电机及配套的伺服驱动器的广泛应用，这种驱动系统被大量选用，在很大范围内发生作用。
3、液压驱动：液压驱动具有动力大，惯量大，响应，易于实现直接驱动等特点，适用于承载能量大，环境中工作的滑台机械手。
当前位置：
